臭氧制造方法很多，其中有化學法、電解法、紫外線法、放射線照射法和無聲放電法等。
化學法生產的臭氧產量有限，不能為生產所利用，電解法有相當高的產率，并能獲得較高的臭氧濃度，目前已有商品在市場出現，但生產的O3往往與ClO2、 H2O2 , Cl2共存。紫外線法使用較早，但生成的臭氧量少，只適合使用消毒劑量少的地方。
無聲放電是一種可以獲得大量低濃度臭氧化氣體(臭氧重量占空氣重量的1%~2%)的技術，適合大規模工業化生產，是目前給水處理廠常用的工業生產臭氧的方法。若采用高頻、中頻、高電壓、純氧氣源無聲放電法可獲得較高的臭氧濃度(臭氧重量占總重量的4%-5%)。
無聲放電法發生臭氧的原理是在一對交流電極之間隔一介電體，當空氣或氧氣通過高壓電極時，在具有足夠動能的放電電子中，使氧分子電離，一部分氧分子就被聚合成臭氧，如圖示。 
圖中A和C都是電極，一般用金屬材料不銹鋼制成，B是介電體，它是一種絕緣物質，一般用耐高壓玻璃作為介體。當交流高壓電作用時，在B和C的間隙中產生無聲放電現象，高壓電流從A透過B而傳到C，由于介電體B的阻擋，大電流不能通過，只能通過極小的電流，電壓極高，B和c的間距D很小，一般只有幾毫米，因而使間隙D中電壓強度很大，電子在高電場作用下速度很快，不斷襲擊通過放電間隙D的空氣或氧氣內的氧分子。氧分子在高速電子襲擊下.有一部分就變成帶電的離子，帶電離子又不斷碰撞結合成分子，又不斷電離、碰撞，直至達到某種平衡狀態生成一定數量的臭氧，反應方程式如下: 
此種臭氧生成方式只能使通過放電區域的氣體中的一小部分變成臭氧，一般只占1%-2%重量，所含有的臭氧氣體通常稱臭氧化氣體，因此臭氧水處理實際土均指使用一定濃度臭氧化氣體進行處理，而不是使用純臭氧進行水處理
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